Kaydon Reali-Slim® 轴承可供定制和优化，以大程度地减少摩擦、排气、污染、腐蚀甚至磨损，而不会影响精度。特殊的可选材料和润滑剂可允许高于250°C的工作温度、10 -8至 10 -12 Torr 的真空水平、减少颗粒物的产生以及对腐蚀性化学环境的耐受性。混合轴承可以边缘润滑应用的扭矩特性并延长使用寿命。
Kaydon拥有工程专业知识为硅芯片制造过程中的每个步骤开发精密轴承解决方案。从机器人到机械抛光机再到光刻设备，Kaydon Reali-Slim® 薄截面轴承为更小、更轻、更简单的旋转设备提供了节省空间的设计。可以添加护罩或密封件，而不会增加轴承空间要求。密封件通常用于真空和其他洁净环境。由于护罩并未完全接触内圈，因此不会产生扭矩损失或颗粒生成。

Kaydon双联轴承组件是高速、平滑扭矩应用的理想解决方案。双相轴承具有一个公共座圈，具有两个同时磨削并一起“跳动”的轴承路径。这种设计有助于消除因轴向跳动变化而引起的潜在附加扭矩。Kaydon盒式轴承组件使这种设计更进一步，具有单个外滚道和单个内滚道，可提供扭矩性能。与双联轴承一样，这种设计消除了使用双联角接触轴承时可能导致的潜在对准和方向安装错误。

轴承
Reali-Slim® 薄壁轴承
双联轴承组件
盒式轴承组件
定制轴承

特点和优点
薄截面
在空间有限的应用中，Reali-Slim 薄截面轴承提供非常紧凑的设计。
轻质
Reali-Slim 薄截面轴承可以显着减轻重量，从而节省整个应用的成本。
低摩擦
高刚度
运行精度高

应用领域
检验设备
晶圆探针台
溅射设备
晶圆传输系统
点胶
拾取和放置机器人
测量系统
测试头
划片设备
研磨设备
真空沉积系统
晶圆步进机
探针台
晶圆修整器
晶圆洗涤器
晶圆抛光机
薄膜沉积系统
CVD系统
蚀刻系统
机械抛光机
常压及真空输送
机器人
测试头
机械手
兆声波清洗系统
旋转烘干机
光刻法
机械抛光机
芯片焊接机